超声波振动频率对于清洗效果有很大影响，这是由于超声波频率对于空化作用影响很大的缘故。实践证明同等功率情况下，低频时易于激发空化。即频率越低，空化作用效果越好，但噪音越大。反之，频率越高，空化作用效果越差，噪音越小；工作频率根据清洗对象，大致分为三个频段；低频超声清洗(20-50KHz)，高频超声清洗(50-200KHz)和兆赫超声清洗 (700KHz-1MHz以上)。低频超声清洗适用于大部件表面或者污物和清洗件表面结合强度高的场合。频率的低端，空化强度高。易腐蚀清洗件表面，不适宜清洗表面光洁度高的部件，而且空化噪声大。40KHz 左右的频率，在相同声强下，产生的空化泡数量比频率为20KHz时多，穿透力较强，宜清洗表面形状复杂或有盲孔的工件，空化噪声较小。但空化强度较低，适合清洗污物与被清洗件表面结合力较弱的场合，高频超声清洗适用于计算机。微电子元件的精细清洗，如磁盘、驱动器，读写头，液晶玻璃及平面显示器，微组件和抛光金属件等的清洗。这些清洗对象要求在清洗过程中不能受到空化腐蚀。要能洗掉微米级的污物。兆赫超声清洗适用于集成电路芯片、硅片及簿膜等的清洗。能去除微米、亚微米级的污物而对清洗件没有任何损伤。因为此时不产生空化。其清洗机理主要是声压梯度。粒子速度和声流的作用。特点是清洗方向性强，被清洗件一般置于与声束平行的方向。